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国内涉及光伏真空泵、冷链设备、芯片真空泵的电真空器件公司有以下几家：
1、沈阳真空技术研究所有限公司：该公司主营真空应用技术的开发，涉及光伏真空泵的研发和应用，公司还涉及其他真空技术产品如真空阀门、真空测量仪器等。
2、中电科电子真空器件公司：该公司是一家专业生产电子真空器件的企业，其产品包括光伏真空泵等，公司还生产其他电子真空器件，如真空开关管等。
3、北方华创微电子制造设备公司：该公司是一家集成电路制造设备供应商，其产品线涵盖了芯片制造过程中的多个环节，包括芯片真空泵的制造和应用，公司还提供其他集成电路制造设备。
4、在冷链设备领域，涉及的公司可能包括提供制冷设备和系统的专业制造商，如海尔、美的等家电企业以及一些专业的冷链设备制造商，这些公司可能会使用电真空技术或相关组件来增强其产品的性能。
信息仅供参考，如需了解更多关于这些公司的详细信息，建议访问相关公司的官方网站或联系其客服人员，随着技术的进步和市场需求的变化，新的电真空器件公司可能会不断涌现，建议关注行业动态以获取最新信息。